Spin Dryer

スピンドライヤー

ウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。
お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。
また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。
全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。
他社製品でのメンテナンスでお困りの場合でも対応できますので、お気軽にお声がけください。

  • スピンドライヤー

    本機はウエハー等のスピンドライヤーです。300mm以下のウエハーをカセットに収納し2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行うスピンドライヤーです

    This machine is a spin dryer for wafers, etc. It is a spin dryer that stores wafers of 300 mm or less in cassettes,
    manually loads 2 cassettes or 4 cassettes vertically, and performs spin drying.

    スピンドライヤー

    仕様

    型式 SPD400・500・600・800・1200
    4キャリアタイプ (2キャリアタイプも可)
    但し8インチ及び12インチは2キャリアタイプ
    回転速度 水切0~1200rpm(可変) 
    通常400~600rpm(可変)
    乾燥0~1200rpm(可変) 
    通常700~1000rpm(可変) 
    処理時間 水切0~999.9sec(可変)
    乾燥0~999.9sec(可変)
    ULPAフィルタ 0.1um、補修率99.9995%以上
    エアシリンダによる自動開閉
    排気 オートダンパー付き、本体後部1ヶ所
    軸シール剤 特殊シール
    電源 3φAC200V 6KVA 50/60Hz
  • 卓上型スピンドライヤー

    本機は卓上型のスピンドライヤーです。特に150mm□以下の基板をカセットに収納し2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです

    This machine is a desktop spin dryer. In particular, it is a desktop spin dryer that stores a board of 150 mm □ or less in a cassette,
    manually loads 2 cassettes or 4 cassettes vertically, and performs spin drying.

    卓上型スピンドライヤー

    特徴

    • 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内臓し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。
    • 卓上型で本体が軽量なため移動が容易です。
    • 本体もチャンバーもPVCで出来ており錆びる事がありません。

    仕様

    型式 SPD400・500・600・800・1200
    4キャリアタイプ (2キャリアタイプも可)
    但し8インチ及び12インチは2キャリアタイプ
    回転速度 水切0~1200rpm(可変) 
    通常400~600rpm(可変)
    乾燥0~1200rpm(可変) 
    通常700~1000rpm(可変) 
    処理時間 水切0~999.9sec(可変)
    乾燥0~999.9sec(可変)
    ULPAフィルタ 0.1um、補修率99.9995%以上
    エアシリンダによる自動開閉
    排気 オートダンパー付き、本体後部1ヶ所
    軸シール剤 特殊シール
    電源 3φAC200V 6KVA 50/60Hz
  • 卓上型スピンドライヤー(SFタイプ)

    卓上型スピンドライヤー(SFタイプ)

    特徴

    • シリコン又は化合物半導体ウエハーの、少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に、広く使用されています。
    • 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。

    仕様

    型式 SF-300型スピナー SF-600型スピナー
    ウエハーサイズ 3インチ~5インチ 4インチ~8インチ(6インチで6枚処理)
    回転盤 直径300m/m PVC製 直径600m/m PVC製
    回転速度 乾燥回転0~2000rpm(可変) 乾燥回転0~1800rpm(可変)
    乾燥 N2ブロー(0~2000rpm可変) N2ブロー(0~2000rpm可変)
    外寸寸法 450W×500D×450H PVC製 650W×650D×500H PVC製
    電源 AC 100V 4A AC 100V 6A