オーダーメイド装置
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研究開発用アニール装置
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ZnS処理装置
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低温グロープラズマ実験装置
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極低温成膜実験装置
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フィルム巾390mm対応R to Rプラズマ処理装置
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TMP+RP排気セット
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バッチ式プラズマ処理装置
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排ガス切替装置
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分析用超高真空チャンバ
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HW式表面改質装置（CAT）
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ロードロック室プラズマCVD装置（当社デモ機）
