Etc Product
その他商品
ウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。
お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。
また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。
全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。
他社製品でのメンテナンスでお困りの場合でも対応できますので、お気軽にお声がけください。
-
マスク自動洗浄装置
RTA Device
本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。
バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。This M/C transports the mask received by loader automatically,
and it is the M/C which it pass, and put away each processing bath in unloader.
A batch type, scrub washing support with various options.
自動両面ウエハースクラバー
RTA Device
ウエハーやマスクガラスの洗浄機で、ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています。
Combind with brush and finejet cleans both sides of wafer and mask.
This is a fully automatic cleaner characterized by the cassette to cassette operation.
キャリア及び
フープ自動洗浄装置RTA Device
本機はバスケットに収納されたキャリヤーやボックスを精密洗浄し、乾燥するもので
ローダーから各処理工程を経てアンローダー(乾燥部兼用)に搬出される自動洗浄装置です。This is cleaning the carrier and the box received by the basket precisely, and this M/C dries.
It is an automatic cleaning M/C carried out to the unloader (the dry department combined use)
after each processing process by the loader.
自動レジスト剥離装置
(剥離装置)RTA Device
本機はレジスト剥離装置になります。ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、
各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥しアンローダーに払い出す装置です。This M/C is resist stripper. The robot transports the cassette set at the loader automatically.
It is M/C it dries with the hot air blow / spin dryer,
and to send off to the unloader after having passed through each processing process.自動石英管洗浄装置
RTA Device
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。
したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。
弊社は長年に及ぶ経験と実績から御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。
方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。The degree of cleanliness of quartz tubes used in wafer manufacturing processes affects the quality of products substantially This necessitates thorough cleaning of quartz tubes used in the diffusion process. CVD process and anneal process. Utilizing our experience and technology accumulated over a long period of time.
we provide quartz tube cleaning equipment that satisfies various needs of customers.
Two types of equipment are available ;horizontal type and vertical type,that can be selected according to shapes of your quartz tubes.
1．
横型自動石英管洗浄装置
（CVD短尺石英管専用）本機は、比較的短い石英管の洗浄に適して居ます。
Specification
本体 鉄製フレームにPVC張り 洗浄層 Nonメタル、PVC 搬送機 前・後・上・下動シーソータイプ 石英管 回転機構付き
HEPA(ULPA)フィルター
小物洗浄用バスケット
ポンプ及び循環フィルター（オプション）
薬液槽用自動蓋（オプション）
ハンドシャワー、N２ガン、温風（オプション）
薬液秤量タンク（オプション）操作盤 液晶タッチパネル 制御部 シーケンサー 電源 AC-100～120V 30A 2．
縦型自動石英管洗浄装置
（CVD短尺石英管専用）本機は、比較的短い石英管を縦にして石英管内外を
ジェット洗浄する装置です。Specification
本体 鉄製フレームにPVC張り 扉 内ﾄドア、外ドア 2重扉 シャワーノズル 石英管内部及び外部洗浄用
ブース天井及び外部洗浄用
純水リンス及びN2ブローも同じノズル使用枝管洗浄ノズル ５ヶ所 小物洗浄槽 Nonメタル PVC PH計 但しオート切り替えドレンはオプション
N2温風発生機ク（オプション）操作盤 液晶タッチパネル 制御部 シーケンサー
秤量タンク（オプション
循環ポンプ及びフィルター小物洗浄
バスケットPVCパンチング板製 1ヶ 電源 AC-100～120V 20A
