2023年6月29日～7月1日　上海新国際博覧センター　E7143

当社の主力製品であるウェーハ洗浄装置を中心に、スピンコーター、プラズマCVD、ドライエッチング、スパッタリングなど、当社ならではのウェット／ドライの両プロセス装置をご紹介します。また、研究開発用に適した卓上型のレジスト塗布・現像・エッチング・剥離・洗浄装置及び、プラズマエッチング・アッシング・クリーニング・CVD装置なども併せてご紹介します。