2022年12月14日～16日　東京ビッグサイト　東4ホール 小間番号4728

当社の主力製品であるウェーハ洗浄装置を中心に、スピンコーター、プラズマCVD、ドライエッチング、スパッタリングなど、当社ならではのウェット／ドライの両プロセス装置をご紹介します。また、研究開発用に適した卓上型のレジスト塗布・現像・エッチング・剥離・洗浄装置及び、プラズマエッチング・アッシング・クリーニング・CVD装置なども併せてご紹介します。